升温离子注入对医用材料Ti6A14V表面改性影响Influence of Elevated Temperature Ion Implantation on Surface Properties of Medical Material Ti6A14V Alloy
赵青,赵峰,耿漫
摘要(Abstract)：
对Ti6A1 4V合金进行温度范围从 1 0 0℃到 6 0 0℃ ,注入剂量为 4× 1 0 1 7ions.cm- 2 氮离子等离子体源离子注入 (N-PSII)。用俄歇能谱仪 (AES)对注入样品进行元素深度分布剖面分析。用显微硬度计及针盘磨损试验机测试表面改性的效果。利用X射线衍射 (XRD)分析表面改性层结构的变化。利用光学显微镜观察磨痕宽度。分析发现 ,当温度从 1 0 0℃升到 6 0 0℃时 ,注入层厚度明显增加。其中 ,高温注入时获得较高的表面硬度和较好抗磨损性。XRD分析发现 ,随温度升高注入层表面形成TiN和Ti2 N析出相。
关键词(KeyWords)： 温度;磨损;Ti6A14V合金
基金项目(Foundation): 国防科技重点实验室基金 ( 98JS5 0 .3.3HZ5 80 1 )资助
作者(Author): 赵青,赵峰,耿漫
参考文献(References)：
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