金刚石膜氧化行为的TGA分析Thermogravimetric Analysis of the Oxidation of CVD Diamond Films Synthesized by DC Plasma Jet
刘敬明,黄天斌,吕反修,唐伟忠,佟玉梅
摘要(Abstract)：
采用热重分析法 (TGA)对直流等离子体喷射制备的金刚石膜在空气中的氧化行为进行了研究 ,结果表明 :直流等离子体喷射制备的金刚石膜氧化激活能为 2 2 0kJ/mol,与天然金刚石的氧化激活能相当。用扫描电子显微镜 (SEM )和Raman光谱对金刚石膜氧化前后的形貌和成分作了分析。结果表明 :金刚石膜在空气中氧化优先刻蚀晶界和孔隙 ,孔隙不断增加 ,晶界瓦解 ,金刚石膜成为一个个柱状单晶粉末 ;金刚石膜氧化前后未出现石墨或其它中间产物
关键词(KeyWords)： 金刚石膜;氧化;热重分析法(TGA)
基金项目(Foundation): 国家“8 6 3”高科技资助项目 !( 715 0 0 2 Z0 30 )
作者(Author): 刘敬明,黄天斌,吕反修,唐伟忠,佟玉梅
DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2000.04.001
参考文献(References)：
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