钽表面离子渗氮工艺研究Experimental Research of Plasma-nitriding of Tantalum
张德元,曾卫军,付青峰,李放,林勤,罗文
摘要(Abstract)：
采用组合的二次回归正交设计方法 ,针对表面硬度、表面粗糙度 ,对钽表面离子渗氮工艺参数 (气体压力、温度、氢气摩尔分数 )进行了优化。根据回归结果和统计分析给出了回归方程
关键词(KeyWords)： 钽;离子渗氮;工艺
基金项目(Foundation):
作者(Author): 张德元,曾卫军,付青峰,李放,林勤,罗文
参考文献(References)：
- 1 张德元等 .钽的等离子体渗氮表面过程分析 [J] .中国有色金属学报 ,2 0 0 0 ,1 0 (2 ) :1 89～ 1 93 .
- 2 PanaiotiTA ,etal.Regularitiesofphaseformationonnitridationoftantalum tungstenalloysinglowdischarge[J] .MetalSciandHeatTreat,1 994,36(5 6) :30 1～ 30 7.
- 3 WuJD ,etal.Surfacenitridationoftransitionmetalsbypulsedlaserirradiationingaseousnitrogen[J] .SurfandCoatTechno ,1 997,96(2 3) :1 330～ 1 336 .
- 4 RafajaD ,etal.Non metaldiffusioncoefficientsfortheTa CandTa Nsystems[J] .ActaMater,1 998,46(1 0 ) :3477～ 3483 .
- 5 WiesenbergerH ,etal.ReactivediffusionandphaseequilibriaintheV C ,Nb C ,Ta C ,Ta Nsystems[J] .ActaMater,1 998,46(1 0 ) :651 .
- 6 LengauerW ,etal.Electron probemicroanalysisoflightelementsinmultiphasediffusioncouples[J] .MikrochimActa,1 997,1 2 6 :2 79.
- 7 AtsumiN ,YoshiokaK ,etal,Nitridingoftransitionmetalpowdersbyballmillinginnitrogengas[J] .MaterTransJIM ,1 993 ,34(1 2 ) :1 2 1 2 1 2 1 6 .
- 8 栾军 .现代试验设计优化方法 [M] .上海 :上海交通大学出版社 ,1 995 ,3 :2 0 1
文章评论(Comment)：
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||