刘锦云，刘颖，涂铭旌

• 1:四川联合大学，马鞍山钢铁公司钢研所材料室

摘要(Abstract)：

采用ＣＨ＿４－Ｈ＿２－Ｏ＿２微波等离子体化学气相沉积法在硬质合金表面沉积金刚石薄膜，研究了ＴｉＣ中间过渡层对金刚石薄膜沉积效果的作用及粘结机理。结果表明在相同沉积条件下ＴｉＣ中间过渡层可以显著提高硬质合金表面沉积金刚石薄膜的生长速率，而且还可提高金刚石薄膜与基体的结合力。

关键词(KeyWords)： 硬质合金，TiC中间过渡层，微波等离子体化学气相沉积，金刚石薄膜

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家教委博士点基金

作者(Author): 刘锦云，刘颖，涂铭旌

参考文献(References)：

• 1涂铬旌，郑昌琼，冉均国．兵器材料科学与工程，1989（8）2藤森直冶等．J61－163274A，1986，7：233菊池则文等，J62－86161A，1987，4：204冉均国，郑晶琼，苟清泉等．微波等离子体合成金刚石薄膜的结构，863高技术金刚石薄膜学术研讨会论文，北京，19885郑昌琼，江建明，冉均国，涂铭旌．成都科技大学学报，1991（1）：16刘锦云，涂铭旌，郑昌琼，冉均国，王文莉．成都科技大学学报，1991（2）：17JonssonBandHogmarkSThinSolidFilms，1984，114：2．578P．Benjaminandc，Wegver．Proc．RSOCLondon，Ser，1960A254：163

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