等离子体源氮离子注入层的组织与性能STRUCTURES AND PROPERTIES OF THE N ̄+ LAYERS IMPLANTED BY PLASMA SOURCE ION IMPLANTAION
王钧石,陈元儒,黄楠, 柳襄怀,尚振魁
摘要(Abstract):
采用等离子体源离子注入技术,对Cr12Mov钢进行了氮离子注入。用俄歇谱仪和透射电镜对注入层的成分和组织进行了分析,分析结果表明:注入层的氮浓度分布具有类高斯分布特征;注入层中的马氏体组织被细化并有非晶态组织形成。显微硬度和摩擦性能测试结果表明,注入层的显微硬度和摩擦性能得到了明显的提高和改善。
关键词(KeyWords): 等离子体源离子注入,铬钢,表面改性
基金项目(Foundation): 中科院上海冶金研究所支持项目
作者(Author): 王钧石,陈元儒,黄楠, 柳襄怀,尚振魁
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