张德元,邓鸣,彭文屹,许兰萍,杨春燕

• 1:江西省科学院应用物理研究所

摘要(Abstract)：

利用扫描电镜、电子探针、Ｘ射线衍射仪及Ａｕｇｅｒ电子能谱仪对多弧离子镀ＴｉＡｌＮ系超硬薄膜的耐磨性和磨损机理进行了研究。发现Ａｌ含量约１０％时膜层耐磨性较高。

关键词(KeyWords)： 多弧离子镀,TiAlN,耐磨性,磨损机理

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 张德元,邓鸣,彭文屹,许兰萍,杨春燕

参考文献(References)：

• 1ErturkE，etal．CrNand（Ti，Al）Ncoatingsdepositedbythesteeredarcandrandomarctechniques．SurfaceandCoatingsTechnology．1989，39／40：435．2KyuTaekHyum，etal．Three－dimensionalgrainsizecontrolforsimultaneousimprovementofhardnessandimpactadhesionin（Ti，Al）Nfilmsonhighspeedsteel．SurfaceandCoatingsTechnology．1989，39／40：409．3ZlatanovicM．Wearresistanceofplasma－nitridedandsputerionplatedhobs．SurfaceandCoatingsTechnology．1990，41：17．4BulSJ，RickerbyDS．Newdevelopmentsinthemodelingofthehardnessandscratchadhesionofthinfilms．SurfaceandCoatingsTechnology．1990，42：149．5蒋生蕊等．直流磁控溅射沉积（Ti，Al）N膜的研究．金属学报．1994，30（5）：B233．

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