电子束加热时Fe-Dy多层膜的稳定性STRUCTURAL STABILITY OF Fe-Dy MULTILAYER UNDER ELECTRON BEAM HEA TING
李胜利,王佩璇,马如璋,阎风章
摘要(Abstract):
用真空双源蒸镀法在NaC1单晶衬底上制备了金属Fe-Dy(镝)多层膜,用透射电镜(TEM)分析结构。结果表明,当Fe单层厚度≥2.4nm时,Fe为bcc结构,无明显择尤取向特征;Dy单层厚度<2.4nm时,Dy为非晶态。在透射电镜样品台上经100kv加速的高强度电子束流加热多层膜,非晶Dy首先晶化变为hcp结构,随加热时间的延长,晶粒长大。150s时Fe晶粒尺寸约300nrn,此时出现了铁镝氧化物。
关键词(KeyWords): FeDy多层膜;透射电镜(TEM);微观结构
基金项目(Foundation):
作者(Author): 李胜利,王佩璇,马如璋,阎风章
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