镍酸镧陶瓷靶材的制备工艺Preparation of LaNiO3 ceramic target
刘秋香,董桂霞,冯冬梅
摘要(Abstract)：
采用固相反应法制备镍酸镧(LaNiO3)粉体,利用常压烧结法烧结LaNiO3陶瓷靶材。探索了制备LaNiO3陶瓷粉体的工艺条件;利用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)分析了固相反应热处理工艺及烧结工艺对LaNiO3陶瓷粉体及靶材的相组成及微观形貌的影响。结果表明:在氧气气氛中,900℃下煅烧10 h可获得纯度较高、晶粒细小的LaNiO3粉体;烧结温度为1100℃保温4 h时,获得了比较致密且晶粒分布均匀的LaNiO3陶瓷靶材,同时电阻率达到了0.52 mΩ·cm。
关键词(KeyWords)： 镍酸镧;靶材;固相反应;常压烧结;电阻率
基金项目(Foundation):
作者(Author): 刘秋香,董桂霞,冯冬梅
DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2013.10.005
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