程仲元,王珉,邹积岩

• 1:南京航空航天大学
• 2:华中理工大学

摘要(Abstract)：

用扫描电镜（ＳＥＭ）分析了真空电弧沉积ＴｉＮ膜中宏观颗粒（ＭＰ）的形态，并对观察结果给出了理论解释。电镜分析表明，ＴｉＮ膜中ＭＰ的形态与其粒径有关，粒径大的呈椭球形，粒径小的呈圆球形；ＭＰ与膜层之间有微小孔隙。理论分析表明，形成ＭＰ的液滴在飞行中温度降低的幅度是决定其形态的主要因素。

关键词(KeyWords)： 真空电弧镀膜,宏观颗粒,TiN薄膜,扫描电镜分析

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金

作者(Author): 程仲元,王珉,邹积岩

参考文献(References)：

• 1BoxmanRL，etal．Principlesandapplicationsofvacuumarccoatings．IEEETransPlasmaSci．，1989，17（5）：705．2LjungcrantzH，etal．MicrostructuralinvestigationofdropletsinarcevaporatedTiNfilms．Surf．Coat．Technol．，1994，63：123．3程仲元．真空电弧镀膜的理论模型和实验研究［博士论文］．武汉：华中理工大学．1995．4JuttnerB．Characterizationofthecathodespot．IEEETrans，onPlasmaSci．，1987，15（5）：474．5ShalevS，etal．Velocitiesandemissionratesofcathodeproducedmolybdenummacroparticlesinavacuumarc．JApplPhys，1985，58：2503．

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