材料的等离子体基离子注入表面改性Surface Modification of Materials by Plasma Based Ion Implantation
夏立芳
摘要(Abstract)：
简要总结了哈工大近 10年来在材料的等离子体基离子注入表面改性方面的工作 ,包括铝合金、钛合金、轴承钢的等离子体基离子注入 ,等离子体基离子注入混合 ,以及等离子体基离子注入的工业应用等
关键词(KeyWords)： 等离子体基离子注入;离子注入混合;材料表面改性
基金项目(Foundation): 国家自然科学基金项目 (NSFC5971 0 59);; 国防科技预研经费支持
作者(Author): 夏立芳
参考文献(References)：
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