化学气相沉积难熔金属钼组织性能的研究Microstructures and Properties of Molybdenum Coating Prepared by Chemical Vapor Deposition
王从曾,马捷,毕安园,周美玲
摘要(Abstract)：
介绍了化学气相沉积法制备难熔金属钼膜层的原理和方法。以MoF6 和H2 为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层。分析研究了沉积层的组织、结构和硬度。实验结果表明:沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度较低时沉积层显微组织为细晶层状结构,沉积层硬度可达6 77HV ;沉积温度较高时沉积层显微组织为致密的柱状晶,硬度稍高于一般烧结钼。
关键词(KeyWords)： 化学气相沉积;钼;显微组织
基金项目(Foundation): 国家“8 63”计划项目 (2 0 0 3AA30 5990 )
作者(Author): 王从曾,马捷,毕安园,周美玲
参考文献(References)：
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