3Cr2W8V钢的钽、碳离子束材料改性Ta,C Ion Beam Materials Modiffication of Steel 3Cr2W8V
杨建华,张通和
摘要(Abstract)：
采用由金属蒸汽真空弧离子源引出的强束流钽、碳离子对 3Cr2W8V钢进行离子注入表面改性研究。钽注入剂量为 3× 10 1 7cm- 2 ,引出电压为 42kV ,平均束流密度为 40 μA·cm- 2 。摩擦磨损试验结果表明 ,钽、碳离子双注入 3Cr2W8V钢能使其耐磨性提高 2 5倍 ,并可大幅度降低其摩擦系数。利用卢瑟福背散射谱 (RBS)测量了离子注入表面的成分 ,借助X射线衍射 (XRD)仪考察了表层的相结构。
关键词(KeyWords)： 钽;离子注入材料改性;金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)
基金项目(Foundation): 国家自然科学基金 (59671 0 51 );; 南通工学院资助项目
作者(Author): 杨建华,张通和
参考文献(References)：
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- 2 ZhangTH ,ZhangHX ,JiCZ ,etal.IndustrializationofMEVVAsourceionimplantation[J].SurfCoatTechnol,2000,128:1
- 3 ZhangTH ,JiCZ ,YangJH ,etal.Formationofintermetalliccompoundswithahighpulsemolybdenumionbeaminsteelandaluminum[J].SurfCoatandTech[J].1992,51:455.
- 4 YamamuraY ,etal.Theoreticalstudiesonanempiricalformulaforsputteringyieldatnormalincidence[J].RadEff,1980,50:39.
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