龙重,刘柯钊,白彬,梁宏伟,严东旭

• 1:中国工程物理研究院

摘要(Abstract)：

利用全方位离子注入技术在金属铀表面进行渗氮处理。结果表明,离子注入温度和脉宽是关键工艺参数;提高基体温度,明显增加氮离子在铀中的注入深度。利用俄歇电子能谱(AES)分析注入工艺参数与渗氮层深度间的关系,增加注入脉宽能明显提升含氮层深度。在其它工艺参数不变的情况下,采用60μs脉宽的渗氮层深度比40μs有显著增加,而80μs注入脉宽的渗氮层深度比低温氮离子注入深度提高一个数量级。脉冲负高压对渗氮层深度影响并不明显,但会提高氮的保持剂量。

关键词(KeyWords)： 全方位离子注入(PIII);铀;渗氮;注入温度

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 表面物理与化学国家重点实验室基金项目(90000460200504);; 中国工程物理研究院基金项目(20050320)

作者(Author): 龙重,刘柯钊,白彬,梁宏伟,严东旭

参考文献(References)：

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