王成磊,高原,卜根涛,申罡

• 1:桂林电子科技大学材料科学与工程学院

摘要(Abstract)：

利用双层辉光等离子渗金属技术,在碳钢表面合成TiN,研究不同的Ar/N2流量比对合成的TiN的影响,获得Ar/N2流量比与TiN表面硬度、表面颜色及TiN成分含量之间的关系,以及Ar/N2流量比对TiN相结构的影响结果:当Ar/N2流量比较大时,以{100}择优取向生长;随着Ar/N2的降低,TiN薄膜由{100}择优取向生长向{111}择优取向生长过渡;TiN薄膜中并不一定是单一的TiN相,还有其他如Ti2N相的存在,造成TiN薄膜硬度的降低。

关键词(KeyWords)： 双层辉光;择优取向;TiN薄膜;相结构

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(50764002);; 信息材料广西重点实验室主任研究课题(桂科能0710908-06-Z);; 2009年广西研究生科研创新项目(2009105950805M37)

作者(Author): 王成磊,高原,卜根涛,申罡

DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2010.07.016

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