材料热处理学报

2007, No.102(06) 1-5

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热处理温度对Fe-Ni合金薄膜微结构及磁性的影响
Effects of heat treatment temperature on microstructure and magnetic properties of Fe-Ni alloy film

刘天成,卢志超,李德仁,卢燕平,孙克,周少雄

摘要(Abstract):

采用直流电沉积法在硫酸盐-氯化物镀液中制备了Fe-44wt%Ni纳米晶合金薄膜。通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)以及开路磁测量装置,对Fe-44wt%Ni合金薄膜镀态和退火态样品的微结构和磁性能进行测量。结果表明:退火温度升高能够降低薄膜内应力,使薄膜结晶均匀,但对薄膜晶粒尺寸和磁性能影响很大。Fe-44wt%Ni合金薄膜是由-γ(Fe,Ni)相和-α(Fe,Ni)相构成。在250℃真空退火处理1h后Fe-44wt%Ni合金薄膜的晶粒尺寸在20~30nm之间,且具有良好的软磁性能,饱和磁感应强度BS为1.06T,矫顽力HC为40A/m。

关键词(KeyWords): Fe-Ni薄膜;热处理;微结构;纳米;软磁性能

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2003AA30251);; 北京市科技计划项目(D0405003040121)

作者(Author): 刘天成,卢志超,李德仁,卢燕平,孙克,周少雄

参考文献(References):

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