材料热处理学报

2001, (03) 55-61

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等离子体基高温离子注入研究进展
Progress in Research of Plasma-Based Ion Implantation at Elevated Temperature

孙跃,陈继新,夏立芳,刘鑫贵,徐淑艳

摘要(Abstract):

综述了等离子体基高温离子注入的发展及应用情况 ,介绍了由于高温注入中辐照增强扩散和热扩散的共同作用 ,注入层成分、组织结构、力学性能和抗腐蚀性能随温度提高发生的变化。并对今后的发展趋势作了预测。

关键词(KeyWords): 等离子体基离子注入;升温;扩散;组织和性能

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation):

作者(Author): 孙跃,陈继新,夏立芳,刘鑫贵,徐淑艳

参考文献(References):

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