朱文波,高原,王成磊,何胜军

• 1:桂林电子科技大学材料科学与工程学院

摘要(Abstract)：

在4Cr13不锈钢表面采用多弧离子镀沉积TiAlN薄膜,采用磁控溅射法和多弧离子镀在4Cr13表面分别沉积掺杂Cr和Cr、Ni的TiAlN薄膜,采用电化学工作站对其进行电化学腐蚀性能测试。结果表明:在1 mol/L的H_2SO_4溶液中,同时掺杂Cr、Ni的TiAlN薄膜的耐腐蚀性是TiAlN薄膜的4.1倍,是掺杂Cr的TiAlN薄膜的1.3倍;在3%的NaOH溶液中,同时掺杂Cr、Ni的TiAlN薄膜的耐腐蚀性是TiAlN薄膜的3倍,是掺杂Cr的TiAlN薄膜的2倍;在3.5%的Na Cl溶液中,同时掺杂Cr、Ni的TiAlN薄膜的耐腐蚀性是TiAlN薄膜的11.4倍,是掺杂Cr的TiAlN薄膜的1.3倍。

关键词(KeyWords)： 不锈钢;TiAlN薄膜;多弧离子镀;磁控溅射;腐蚀

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金资助项目(51264007);; 桂电-桂林电科院研究生资助项目(20141103-09-Z);; 广西信息材料重点实验室重点项目(1210908-214-Z);; 广西自然科学基金资助项目(2015GXNSFBA139214);; 桂林电子科技大学研究生教育创新计划资助项目(YJCXB201501)

作者(Author): 朱文波,高原,王成磊,何胜军

DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2016.12.027

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